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多晶硅生产工艺的发展职业学院化学工程毕业论文

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多晶 生产工艺 发展 职业学院 化学工程 毕业论文
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扬州工业职业技术学院 扬州工业职业技术学院2009 — 2010 学年第 一 学期毕业设计(论文) 毕业设计(论文)(课程设计) (课程设计)课题名称: 多晶硅生产工艺的发展设计时间: 2009.11.23~2009.12.10系 部: 化 学 工 程 系班 级: 0703 应化姓 名: 侍昌蕾指导教师: 张 伟扬州工业职业技术学院1目 录引言................................................................................................................................4一、多晶硅的现状及发展前景....................................................................................51.1 多晶硅的应用.........................................................................................................51.2 多晶硅在我国的发展.............................................................................................51.3 全球多晶硅的发展................................................................................................7二、多晶硅产业总体发展趋势..................................................................................102.1 多晶硅产业产能发展分析...................................................................................102.2 多晶硅生产工艺发展趋势..................................................................................122.2.1 半导体用多晶硅技术及发展趋势...................................................................122.2.2 可再生能源光伏产业用多晶硅发展趋势......................................................132.2.3 国内多晶硅产业技术发展趋势......................................................................13三、多晶硅生产流程的发展......................................................................................143.1 SiCl4 法制备第一代多晶硅..............................................................................143.2 SiH2Cl2 法制备第二代多晶硅..........................................................................163.3 SiHCl3 法制备第三代多晶硅.............................................................................173.4 改良西门子法制备多晶硅...................................................................................183.4.1 大型多晶棒节能型还原炉..............................................................................183.4.2 导热油循环冷却还原炉工艺技术..................................................................193.4.3 还原尾气的干法回收技术..............................................................................193.4.4 四氯化硅(SiCl4)氢化反应技术................................................................193.5 SiHCl3 法的探讨..............................................................................................20五、我国多晶硅光伏产业面临三大困境..................................................................245.1 金融危机使多晶硅产业急转直下....................................................................245.2 多晶硅光伏产业发展面临三大困境................................................................245.3 多晶硅光伏产业“两头在内“才能有出路......................................................25六、当代多晶硅制备工艺中的不足及改进措施......................................................266.1 多晶硅制备工艺中所存在的不足....................................................................266.2 改进措施............................................................................................................26
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本文标题:多晶硅生产工艺的发展职业学院化学工程毕业论文
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